第九届“微言大义”MEMS研讨会：设备和材料
时间：2014年4月11日（星期五） 13:30-17:00
地点：无锡新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E1座1楼会议室（点击查看详细地图）
主办方：中国传感网国际创新园、中国物联网研究发展中心、中国微纳技术俱乐部、无锡麦姆斯咨询有限公司
协办方：应用材料公司（Applied Materials）、光玥科技（WaferPlus）、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、上海纳腾仪器有限公司、晶微科技有限公司、上海金东唐精机科技有限公司、昆山华扬电子有限公司、IC咖啡
全球合作伙伴：
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活动背景：
虽然MEMS还没有标准化，但是各家MEMS公司正不断优化自己的技术平台以降低成本。这些工艺创新将使得MEMS设备和材料市场的复合年增长率（2012-2018年）达到7%。其中，MEMS设备市场规模将从3.78亿美元增长到5.12亿美元，复合年增长率为5.2%，值得一提的是MEMS设备的市场变化与主流IC设备极其相似；MEMS材料市场规模将从1.36亿美元增长到2.48亿美元，复合年增长率为10.5%。
如今，MEMS制造技术还处于多元化阶段，缺乏统一标准，“一种产品，一套工艺”定律仍然适应。事实上，MEMS与IC的发展并不相同，不遵循摩尔定律。因此，您可以发现很多MEMS公司制造一种MEMS器件的方法各不相同，有时候这种现象还出现在一个公司内部。（例如CMOS MEMS和混合工艺方法都可以用来制造惯性传感器和MEMS麦克风）
然而，由于MEMS已成为大众化商品，需要更短的上市时间，所有任何有助于加快商业化进程的方法都是深受欢迎的。因此本次研讨会旨在推动MEMS设备和材料领域的技术交流和发展，范围从设计、工艺到封装、测试。
会议内容：
时间 |
报告主题 |
演讲人 |
13:30-14:00 |
签到 & 交流 |
- |
14:00-14:20 |
应用材料公司先进微机电系统（MEMS）技术（密码：d442） |
应用材料 销售经理 杜嘉琪（Jiaqi Du） |
14:20-14:40 |
深硅刻蚀技术在先进MEMS制造中的应用（密码：7736） |
北方微电子 副总裁 刘韶华 |
14:40-15:00 |
MEMS多传感器半自动化测试系统及晶圆级自动化测试系统（密码：69ec） |
中国物联网研究发展中心 智能传感器工程中心 封装测试部门主管 明安杰 |
15:00-15:30 |
玻璃与石英在MEMS与微流量反应器上的应用（密码：e204） |
WaferPlus CEO 黄硕彦 |
15:30-15:50 |
压印在柔性器件中的应用和MEMS力学性能检测技术（密码：cdc0） |
纳腾仪器 资深工程师 纪鸣 |
15:50-16:10 |
浅谈自动化装配在MEMS设计中需要考虑的因素（密码：1610） |
晶微科技 客户经理 黄力 |
16:10-16:30 |
MEMS麦克风测试系统（密码：1436） |
金东唐精机 总经理 郑谦 |
16:30-16:40 |
MEMS麦克风结构、材料和PCB设计 |
华扬电子 总经理 Frank |
16:40-17:00 |
自由交流，合影留恋 |
- |
演讲嘉宾介绍：
姓名 |
简介 |
Jiaqi Du |
Jiaqi Du has been with Applied Materials for over 10 years. He started his career at Applied as a customer service engineer in the CVD division and subsequently held service manager positions in CVD and sub-Fab divisions. He has participated and led the whole fab transition project for TSMC/CSMC. Jiaqi Du is Applied Global Service sales manager now focused on <= 200mm products for IC, Power and MEMS device. |
刘韶华 |
刘韶华，北方微电子副总裁，美国马里兰大学物理学博士。北京市“海聚工程”入选者。
1994年至2003年任职英特尔，从事技术研发、产品研发。多次负责Flash和铜制程等重大项目的研发，获十一项英特尔项目成功奖。拥有多项美国专利，发表文章47篇。曾任北美中国半导体协会理事，获“长期出色贡献”奖。回国后，曾任中国科学院微电子所客座研究员, 博士生导师和宏力半导体副总裁，现任北方微电子副总裁，刻蚀事业部首席技术专家。 |
明安杰 |
明安杰，博士，副研，硕导。中科院长春光机所硕士毕业，中科院上海微系统所博士毕业；目前主要从事环境监测类MEMS传感器及物联网智能终端技术研究。半导体期刊《Journal of Semiconductors》、红外期刊《红外技术》的审稿人。
2008年进入中国科学院微电子研究所工作，2011年双跨至江苏物联网研究发展中心工作，负责智能传感器工程中心封测平台日常运营。作为项目负责人主持国家自然科学基金重点项目1项，主持无锡市物联网专项2项，主持院重点实验室开放课题1项，作为副组长主持江苏省自然科学基金面上项目1项，作为主要完成人参与国家863项目1项，参与国家自然科学基金重点项目1项，参与国家863项目1项；发表学术论文10余篇，参与申请专利14项，已授权4项。 |
黄硕彦 |
黄硕彦为双硕士，毕业于美国加州圣地亚哥创业MBA与台湾辅仁大学创业管理EMBA，曾任职于德国肖特Schott glass台湾分公司资深销售经理8年，以及菲律宾新市场开发区域经理2年，后创立WaferPlus担任负责人，代理国际知名厂商德国上市公司Plan Optik的玻璃与石英晶圆及先进的加工技术，以及美国上市公司Materion镀膜产品，为业界提供创新的解决方案。 WaferPlus根据多年在玻璃与石英材料的经验，以及产业特性与需求的了解，提供客户标准化与客制化的解决方案，整合不同产业资源与加工技术，提供有效且经济的解决方案，促进国内产业升级与技术的创新。 |
黄力 |
黄力，电子与通信工程硕士毕业，目前从事半导体封装设备的市场和销售工作，曾在国内著名研究所和企业从事微流控和压力传感器的设计和工艺开发，以及传感器在汽车、矿业、医疗等领域的应用研发。 黄力寄语：半导体封装的器件自动化装配为MEMS器件的自动化装配提供了可以借鉴的经验，但是即便如此，其仍然面临着很多特有的困难和挑战，如器件的设计，操作和装卸，附着方式以及贴装精度等。只有很好的理解这些问题及其解决方案，MEMS的设计才能很好的完成自动化装配。 |
郑谦 |
郑谦，上海金东唐科技股份有限公司董事/总经理，电磁测量技术及仪表与英语双学位，专注半导体、电子电路测试与研发近30年。 1985年9月至1987年1月在上海钢铁工艺技术研究所任研发工程师，从事产品开发；2000年7月至2003年6月在加拿大Chipworks Inc.公司任亚太区经理；2006年3月-2012年6月任UBM Techinsights亚太区销售总监。回国后，参与多加创新企业的创立与管理，曾任卓超高科技电子（上海）、圣景微电子（上海）总经理，企业获得上海市高新技术企业称号，研发部门拥有多项专利。现任上海金东唐科技股份有限公司总经理。 |
Frank |
Frank，1997年~2008年，任昆山沪士电子研发主管，曾是国内最早开发埋容埋阻技术的工程师，并使之量产。2008年~ 至今，任昆山华扬电子技术副总经理、总经理。 |
纪鸣 |
纪鸣，上海纳腾仪器资深工程师。多年来致力于纳米压印、微加工等领域的开发与探索，并引进新的仪器技术研习，不断进行相关领域国内外技术的资源整合，为客户的需求定制各种方案。 |
活动对象：MEMS设备和材料供应商、MEMS代工和封测厂、MEMS传感器公司、研究院所和投资机构。
报名参加：在线报名
（免费参加）
已报名单位：光玥科技（WaferPlus）、北方芯动联科、无锡微奇科技有限公司、香港优博创新科技有限公司、中国物联网研究发展中心、中国微纳技术俱乐部、德龙激光、苏州独墅湖图书馆信息咨询服务中心 、德国马克思普朗克生物物理化学研究所、晶微科技、无锡芯奥微传感技术有限公司、SPM International Limited、锐珂医疗上海研发中心、中国人民解放军军事交通学院、上海华岭集成电路技术股份有限公司、应用材料公司、Intertec Corp.、苏州明皜传感科技有限公司 、安科泰克北京科技发展有限公司、亚洲科技资讯公司北京代表处、苏州路车智能电子有限公司、南京经济技术开发区·紫金（新港）科技创业特别社区、台湾界鸿科技股份有限公司、TCL、长江资本、中北大学、新晶元科技、IMT、山东大学、上海纳腾仪器有限公司 、浙江盾安集团、华夏幸福基业产业发展集团、美新半导体、SPTS Technologies、豪勉国际贸易（上海）有限公司、苏州纳米产业技术研究院有限公司、上海丽恒、苏州工业园区启纳创业投资有限公司、凯旋通（北京）投资顾问有限公司、上海大学 、无锡康森斯克电子科技有限公司、中兴创投、无锡西工大工业技术研究院、北方微电子、ZMDI、无锡怡和国联、EasyPlus Technology Suzhou Co., Ltd、Jih Hong Electronic Co., Ltd.、Grenotek Integrated Inc.、常州银河世纪微电子有限公司、华润上华 、慕尼黑展览（上海）有限公司、Hauman International Trading (Shanghai) Co., Ltd.、中科院苏州纳米所、利美加半导体（苏州）有限公司、力成科技苏州有限公司、中国矿业大学摩擦学国家重点实验室、胜科纳米（苏州）有限公司、VTT芬兰科技研究中心 、昆山华扬电子有限公司、上海天英微系统科技有限公司、上海集成电路研发中心有限公司、盾安环境、无锡芯智鑫电子科技、智瑞达科技(苏州)有限公司、苏州正崛电子科技有限公司、杭州联声电子有限公司、苏州迪纳精密设备有限公司、无锡市计量测试中心 、清华汽车研究院、苏州华创赢达股权投资基金企业、亚矽科技、常州银河世纪微电子公司、无锡华润华晶微电子、无锡沃浦光电传感科技有限公司、江苏艾特曼电子科技有限公司、智能传感器工程中心、江苏盛世云图物联科技有限公司、上海丽恒 、上海绎睿电子科技有限公司、无锡微奥科技、红杉资本
中国微纳技术俱乐部 微言大义会议组
联系人：王懿
手机：18217468860
邮箱：wangyi@micro-nano.com
网站：www.MEMSeminar.com
友情提示：
无锡免费出租车打车热线：0510-88008800，手机打车软件：快的打车、嘀嘀打车
无锡新区高铁至会场约5分钟，无锡站高铁至会场约30分钟
公交车：无锡站乘坐118路公交车至吴都路（菱湖大道）站