会议地点

线上直播

会议时间

2021年12月9日
10:00~17:00

主办方

麦姆斯咨询
上海科技会展有限公司

协办方

上海传感信息科技有限公司
华强电子

会议简介

压电MEMS和传感器领域充满机遇、活力四射,尤其是射频滤波器受益于5G通信而快速发展。麦姆斯咨询作为专业的MEMS和传感器咨询机构,携手Sensor China展会为MEMS业内人士提供能力展示和观点分享平台,以开拓富有成效的合作伙伴关系,促进压电MEMS产业蓬勃发展!

压电器件迎来新时代

21世纪初以来,随着先进材料和半导体技术不断发展,压电薄膜材料沉积技术与MEMS/CMOS制造工艺的集成度越来越高,为薄膜型压电器件的“亲民”路线开辟了一条新路。5G通信、个人语音助手、可穿戴设备和医疗成像设备都是薄膜型压电器件的热门应用。所以,压电器件目前正在经历一个光明的快速发展期!

射频滤波器市场广阔

受益于5G通信的迅速发展,射频滤波器在日常生活中的应用也将变得越来越重要,不仅仅是满足在智能手机发短信、拨打电话或下载电影等需求。展望未来,射频滤波器还将被安装于电动汽车和自动驾驶汽车。在如今的压电MEMS和传感器“全家福”上,滤波器稳居“C位”,瓜分压电MEMS和传感器市场规模约70%的份额。

压电和MEMS技术融合

压电和MEMS技术的融合发展正在为全球MEMS产业带来一场革命。压电MEMS技术越来越多地应用于滤波器、超声波换能器、惯性传感器、MEMS扬声器和麦克风、喷墨打印头、自动对焦执行器、能量收集器等产品。因此,越来越多的MEMS中试平台和代工厂针对压电薄膜技术进行研究,并开发出压电MEMS工艺及产品。

会议议程

会议时间:2021年12月9日10:00~17:00
会议形式:线上直播

演讲时间

报告主题

演讲嘉宾

10:00~10:25

基于单晶压电异质衬底技术的5G射频滤波器

中科院上海微系统所

研究员

欧欣

10:25~10:50

薄膜型声学滤波器最新进展及技术展望

芯云纳米技术(苏州)有限公司

技术总监

陈涛

10:50~11:15

射频谐振器和滤波器研究现状与进展

武汉敏声新技术有限公司

副总经理兼首席技术官

孙博文

11:15~11:40

5G射频前端中的声学射频滤波器BAW的开发与应用

诺思(天津)微系统有限责任公司

市场技术经理

翟国祥

11:40~12:05

5G n41、n77、n79射频滤波器及其解决方案

浙江信唐智芯科技有限公司

联合创始人兼首席技术官

高安明

12:05~13:30

休息

13:30~13:55

压电MEMS流速与水听传感芯片的产业化

上海新微技术研发中心有限公司

先进声学组总监

娄亮

13:55~14:20

PZT压电驱动MEMS微镜

苏州知芯传感技术有限公司

总经理

陈巧

14:20~14:45

高品质晶圆级铁电薄膜的溶胶凝胶法批量化制备及其MEMS器件应用

西安电子科技大学

先进材料与纳米科技学院华山学者特聘教授

彭彪林

14:45~15:10

高频超声换能器及超声显微镜应用

安徽奥飞声学科技有限公司

联合创始人兼产品总监

安志武

15:10~15:35

面向医学成像的MEMS压电超声换能器(PMUT)

上海交通大学

材料学院博士后

王续博

15:35~16:00

氮化铝(AlN)超声波ToF传感器及系统的商业化应用

茂丞科技(深圳)有限公司

总经理

邱奕翔

16:00~16:25

Materion先进材料在MEMS和传感器领域的应用

美题隆(Materion)

中国区材料应用开发负责人

言智

16:25~16:50

智能清扫机一站式避障解决方案——超声波雷达

广东奥迪威传感科技股份有限公司

产品经理

李泊霖

16:50~17:00

会后交流

演讲嘉宾

欧欣

公司中科院上海微系统与信息技术研究所
职务研究员
领域异质集成材料

欧欣,中科院上海微系统与信息技术研究所研究员、上海新硅聚合半导体有限公司首席科学家,国家科技创新领军人才,面向5G声、光、电核心芯片对异质集成材料的重要需求,成功制备出多种硅基异质集成材料,并实现高性能射频SAW滤波器的开发和制备,先后发表SCI论文109篇,申请专利120余件,已授权50余件,转化40余件。获得北京市科学技术进步一等奖(2019)、中国光学十大进展(2019)、中国产学研合作创新奖(2020)、国际离子束材料改性贡献奖-“IBMM Prize”(2016)等。

陈涛

公司芯云纳米技术(苏州)有限公司
职务技术总监
领域压电材料

陈涛,博士,毕业于中国科学院上海硅酸盐研究所,主要从事压电材料研发、压电器件设计和制造方面工作,曾参与上海市科委科研计划项目、973项目子课题、中英关于超高温压电材料国际合作项目等。2017~2018年,在英国伦敦大学皇后玛丽学院从事微波介质材料和器件的设计和研发,研究方向为介质滤波器和声表面波滤波器关键材料的制备和研发;2019~2020年,从事射频MEMS器件的开发和可靠性分析。目前,所在技术团队以薄膜型压电材料及相关器件的研发和量产为重点,他作为团队主要成员负责BAW滤波器方向工艺,包括BAW-SMR和FBAR制造工艺攻关项目。发表过SCI核心论文7篇,申请专利6项。

孙博文

公司武汉敏声新技术有限公司
职务副总经理兼首席技术官
领域BAW滤波器

孙博文先生是芯片领域设计与制程专家,新加坡高级技术与管理人才。2002年至2006年在英国利物浦约翰摩尔斯大学攻读微电子工程学士学位,2011年至2015年在新加坡国立大学攻读电子与计算机工程博士学位,博士期间研究专攻多种MEMS设计和工艺,特别是压电系、静电系微机电系统。曾任新加坡台达电子(中国中达电通)有限公司研究中心实验室主任,新加坡台达电子研究院副院长、台达电子-新加坡南洋理工大学企业联合实验室副所长;原新加坡微电子研究院科学家及高级工程师;伟创力制造有限公司电气和测试工程师。孙博士致力于AlN和Si的MEMS器件设计、制造。尤其具有创建RF-MEMS的知识,基于有限元模型或基于集总模型的多物理场仿真,在微细加工、后端封装和表征设备方面具有多年的专业技能,拥有15年的射频MEMS研究、产品开发及管理经验。在领域内和国内外多位顶尖研究者合作,拥有超过50篇学术发表,10余项专利,超过500次学术国际引用。现任敏声新技术首席技术官兼副总经理,以创新型策略制定出敏声独有的射频产品和工艺技术路线,并带领团队实践及推动射频产品的商业化。

翟国祥

公司诺思(天津)微系统有限责任公司
职务市场技术经理
领域射频前端

翟国祥从事射频前端整合的研发工作15年,参与开发多款现象级消费级通讯产品,目前在诺思支持国内客户一起打造国际领先的5G射频前端模组。

高安明

公司浙江信唐智芯科技有限公司
职务联合创始人兼CTO
领域射频滤波器

高安明,博士,浙江信唐智芯科技有限公司首席技术官,中国科学院大学温州研究院和合肥工业大学兼职教授。2018年获得美国伊利诺伊大学香槟分校电子与计算机工程专业博士学位,2018-2020年在美国Skyworks公司任高级研发工程师,从事声表波和薄膜体声波谐振器、滤波器的研发工作。近年来在Nature Microsystem & nanoengineering、IEEE Electron Device Letters、IEEE Journal of Microelectromechanical Systems、IEEE Trans. MTT、IEEE International Electron Devices Meeting等国际期刊和学术会议上发表论文54篇, 2021年入选浙江省第三批鲲鹏行动初步建议人选名单。受邀在Panasonic、Skyworks、Resonant等公司做关于声波谐振器和滤波器报告。获得的学术奖励主要有伊利诺伊大学香槟分校Nick and Katherine Holonyak,Jr. Graduate Student Fellowship和Lam Research Outstanding Graduate Student Award。

娄亮

公司上海新微技术研发中心有限公司
职务先进声学组总监
领域压电声学传感器

娄亮,博士,现任上海微技术工业研究院(SITRI)先进声学组总监,上海大学微电子学院连聘导师。2008年本科毕业于中国科学技术大学,2012年博士毕业于新加坡国立大学。2009年起加入新加坡微电子研究院(IME)至回国,历任科学家、压电声学传感器主管。迄今有逾10年八英寸MEMS线设计、开发与产业经验,世界上首个氮化铝超声工艺量产平台转移至格罗方德半导体公司,开发了水听、测距、超声指纹等压电声学芯片,迄今在相关领域顶级国际期刊和会议上发表论文20余篇,授权美国专利两项。

陈巧

公司苏州知芯传感技术有限公司
职务总经理
领域MEMS微镜

陈巧,博士,2010年毕业于法国国家科研中心FEMTO-ST,至今具有十多年MEMS传感器开发经验,先后在无锡微奥科技担任技术总监,上海矽睿科技担任主任工程师,作为核心发明人申请专利&论文超过50项。设计制作了超小尺寸MEMS微镜、超大位移MEMS微镜、大镜面MEMS微镜、大阵列微镜,分别应用在内窥镜OCT成像,傅里叶变换光谱仪FTS和光交叉互联OXC。于2019年创办苏州知芯传感技术有限公司,主要产品PZT驱动MEMS微镜,应用在3D感知、激光雷达等领域,先后荣获苏州工业园区领军人才、姑苏领军人才。

彭彪林

公司西安电子科技大学
职务先进材料与纳米科技学院华山学者特聘教授
领域铁电领域

彭彪林, 西安电子科技大学先进材料与纳米科技学院华山学者特聘教授,南京卡巴卡电子科技有限公司创始人。2010年3月至2013年6月于西北工业大学与英国克兰菲尔德大学攻读博士学位,2013年10月至2017年9月于香港理工大学应用物理系从事博士后研究。迄今有十余年从事铁电薄膜的制备及其电卡、储能、介电调谐(雷达移相器)、热释电、介电、压电等电学性能研究的经历。在Energy Environmental & Science、Advanced Functional Materials、Nano Energy等国际知名学术期刊发表SCI论文80余篇,总被引次数1600余次,申请专利20余项,参与编写本学科领域英文专著2部。目前所创立的南京卡巴卡电子科技有限公司可依据客户需求量身定制4英寸以上高品质铁电薄膜,如PZT、PMN-PT、PSN-PMN、PLZST、PST、BTO、BCZT、BST、BCT-BMT、BNT-BT、BFO等。

安志武

公司安徽奥飞声学科技有限公司
职务联合创始人兼产品总监
领域声学传感器

安志武,博士,安徽奥飞声学科技有限公司联合创始人、产品总监,中国声学学会产业促进委员会委员、检测声学分会委员,安徽省合肥市市级领军人才。2006年毕业于北京大学电子学系,获理学学士学位,2011年毕业于中科院声学所,获理学博士学位。主要从事声学MEMS和超声学研究。

王续博

公司上海交通大学
职务材料学院博士后
领域高频超声换能器

王续博,上海交通大学材料学院博士后。 2021年6月,在复旦大学微电子学院取得博士学位,博士期间主要完成了高频(>15MHz)超声换能器的设计、加工与表征;2021年7月进入上海交通大学材料学院金属基复合材料国家重点实验室进行博士后工作,主要在博士研究的基础上推进高频超声换能器的产业化。

邱奕翔

公司茂丞科技(深圳)有限公司
职务总经理
领域压电MEMS

邱奕翔,茂丞科技(深圳)有限公司总经理,北京大学深圳研究生院信息工程学院博士、新竹清华大学集成电路设计硕士。十年以上半导体设计和MEMS创业经验,AlN(氮化铝)压电微机械超声波换能器研究项目获北京大学特等奖,在AlN(氮化铝)超声波换能器领域累计发表6篇国期会议期刊论文,以及取得12项发明专利。

言智

公司美题隆(Materion)
职务中国区材料应用开发负责人
领域半导体薄膜器件

言智,毕业于中科院微系统与信息技术研究所,微电子与固体电子学博士,以色列巴伊兰大学纳米技术研究所博士后,从事半导体薄膜器件及新材料的开发和应用十多年,发表文章30余篇,其中包括FBAR,Sensor的原型器件制备和测试表征。现负责Materion先进材料中国区的材料应用开发,其中包括AlSc材料,CoZrTa/CoFeB材料,GST/OTS材料。

李泊霖

公司广东奥迪威传感科技股份有限公司
职务产品经理
领域超声波雷达

李泊霖,西安建筑科技大学土木工程学士、奥本大学生物系统工程硕士,曾与奥本大学微生物实验室团队获得技术进步奖项;现任奥迪威工业类智能传感器产品经理,目前专注于智能传感器与工业制造及相关领域之间的需求研究,长期关注AI、5G、物联网、云计算等技术的应用发展,包括智能物流、智能仓储、智能清洁等新兴市场的发展情况,与团队多次辅助客户单位的研发队伍攻克产品落地难题,协助坎德拉实现全球首个多功能环卫机器人落地下线,为智行者“蜗小白”研发提供智能传感器应用技术支持。

  • 欧欣

    中科院上海微系统与信息技术研究所

    研究员

  • 陈涛

    芯云纳米技术(苏州)有限公司

    技术总监

  • 孙博文

    武汉敏声新技术有限公司

    副总经理兼首席技术官

  • 翟国祥

    诺思(天津)微系统有限责任公司

    市场技术经理

  • 高安明

    浙江信唐智芯科技有限公司

    联合创始人兼CTO

  • 娄亮

    上海新微技术研发中心有限公司

    先进声学组总监

  • 陈巧

    苏州知芯传感技术有限公司

    总经理

  • 彭彪林

    西安电子科技大学

    先进材料与纳米科技学院华山学者特聘教授

  • 安志武

    安徽奥飞声学科技有限公司

    联合创始人兼产品总监

  • 王续博

    上海交通大学

    材料学院博士后

  • 邱奕翔

    茂丞科技(深圳)有限公司

    总经理

  • 言智

    美题隆(Materion)

    中国区材料应用开发负责人

  • 李泊霖

    广东奥迪威传感科技股份有限公司

    产品经理

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