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简介（建议不要超过4行）
在人工智能（AI）迅猛发展的浪潮下，微机电系统（MEMS）与传感器产业正迎来前所未有的机遇。随着微纳制造工艺的日益精进，以及新原理、新材料、新技术的助力，MEMS器件正朝着更高精度、更小尺寸、更低功耗、更高集成度和更加智能化的方向前行，从而使得应用边界持续拓宽。